第248章 光刻厂项目（第4页）

实在不愿意合作，那也没办法，只能换其他高校和研究所。

“我了解到，夏科院那边光刻机研究有不小的进展”

“其实我有想过光刻机的研究难点，那种高精度的东西确实很难为什么我们不放大呢？”

“阿斯麦的光刻机一体化，我们能不能将光刻机放大，造一个光刻厂？”

“我记得夏科院有同步辐射光源技术已经有很大的研究成果！”

“清大那边的赵教授，在2010年，提出了ssb稳态微聚束的设想。”

第248章光刻厂项目！

“我想联合夏科院和清大，做这方面的研究”

光刻厂！

未来被提出的研究方向。

是对光刻机的一种碾压。

只不过，在李易重生的时候，还没有真正落地，但可以肯定这个也是一种解决光刻机的办法！

而且是行得通的！

理论上来说，通过同步辐射技术，对于大量接近光速的高能电子来说，只要不断改变它的方向，它就会不断释放出光子。

随着速度衰减到足够低。

理论上可以得到，从x光到远红外范围内的具有连续光谱、高强度、高度准直、高度极化、特性可精确控制的优异脉冲光源。

最高可以达到飞秒激光级。

自然包括euv光源！

比较难的是，如何聚束，还是：稳态聚束。

电子在转弯，会纵向滑移，聚束就没法维持了。

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