第248章 光刻厂项目（第5页）

激光和电子微聚束要以巧妙的角度调制。

怎么保持好角度也很困难。

目前，高能所的第四代同步辐射光源，还没获突破性进展。

想通过复杂的插入件技术，让光源质量进一步提升，有了更精尖的运用场景。

虽然还达不到用来制作光刻机，也就是在极紫外光源段，质量不够、不够细腻和稳定。

赵教授提出的ssb方案——稳态微聚束。

两者结合，能起到不错的效果。

ssb方案，把自由电子激光（fel）搬进了同步辐射储存环内。

为同步辐射的储存环引入一个插入件。

这是高能所未来第四代高能同步辐射光源的研究成果。

加上ssb方案，让其拥有了产出高质量极紫外光源的能力。

唯一的缺点就是：贵！

同步辐射光源来制造‘光刻机’，理论可行，加上ssb方案更可行，就是造价高！

同步辐射装置造价成本高达数十亿。

但是李易不差钱啊？！

但这东西，需要官方配合，同步辐射装置也不是谁都可以建设的。

这玩意占地就有几十公顷！

几百亩土地！

不过在燕都、临海、庐州，都有同步辐射装置可以借用。

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