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第867章 底线在哪里(第6页)
“小炉像手工作坊,良率九成。”
“放大之后设备更贵,数据更齐,材料开始闹脾气。”
许燃走到屏幕前。
“缺陷分布按时间排序。”
学生赶紧操作。
一排显微图刷开。
许燃看了不到半分钟,忽然问:
“成核初始阶段的数据呢?”
陈容与立刻道:
“都在。”
“我们重点盯的是后段热循环。”
“边缘裂纹看起来像降温应力导致的。”
许燃摇头。
“不是后段。”
“问题在前十八秒。”
陈容与一愣。
“前十八秒?”
“那时候晶核都没长开。”
“就是没长开才出问题。”
许燃指着第一张图。
“表面能扰动太大。”
“你们把基底当成平地。”
“放大炉里,气流和边界温差会把成核点推成波浪。”
“后面长得再漂亮,边缘也会带着第一步的歪劲。”
老郑皱眉。
“温度曲线没异常。”
“曲线没异常,不代表表面能没波动。”
许燃拉过工艺界面,手指飞快点了几下。
“前段等温取消。”
“改三段脉冲。”
“基底偏压延迟。”
“前驱体A提前。”
“B源不要跟着加,等边界势阱成型再进。”
陈容与看着参数,眼皮跳了一下。
“许总,你这改法像给炉子打节拍。”
许燃按下确认。
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