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第867章 底线在哪里(第6页)

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“小炉像手工作坊,良率九成。”

“放大之后设备更贵,数据更齐,材料开始闹脾气。”

许燃走到屏幕前。

“缺陷分布按时间排序。”

学生赶紧操作。

一排显微图刷开。

许燃看了不到半分钟,忽然问:

“成核初始阶段的数据呢?”

陈容与立刻道:

“都在。”

“我们重点盯的是后段热循环。”

“边缘裂纹看起来像降温应力导致的。”

许燃摇头。

“不是后段。”

“问题在前十八秒。”

陈容与一愣。

“前十八秒?”

“那时候晶核都没长开。”

“就是没长开才出问题。”

许燃指着第一张图。

“表面能扰动太大。”

“你们把基底当成平地。”

“放大炉里,气流和边界温差会把成核点推成波浪。”

“后面长得再漂亮,边缘也会带着第一步的歪劲。”

老郑皱眉。

“温度曲线没异常。”

“曲线没异常,不代表表面能没波动。”

许燃拉过工艺界面,手指飞快点了几下。

“前段等温取消。”

“改三段脉冲。”

“基底偏压延迟。”

“前驱体A提前。”

“B源不要跟着加,等边界势阱成型再进。”

陈容与看着参数,眼皮跳了一下。

“许总,你这改法像给炉子打节拍。”

许燃按下确认。

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