第401章 光刻之盟（第3页）

“目标是开发一套全新的，基于ai的逆向光刻技术系统。”

林远的眼中闪烁着精光，那是猎人看到猎物即将落网时的兴奋：“这套系统不需要euv。

它能让现有的duv光刻机，通过多重曝光和极致的软件修正，生产出7纳米，甚至5纳米的芯片！”

“这就是——软件定义制造！”

整个会议室陷入了死一般的寂静。

马丁的手在微微颤抖。

作为全球最顶尖的光刻机专家，他太清楚这个方案的可行性了。

duv光刻机的物理波长是193nm，通过浸没式技术可以等效为134nm。

理论上，通过多重曝光确实可以做到7nm。

但其代价是掩膜版的设计复杂度呈指数级上升，计算量大到惊人。

传统的软件处理一张7nm的全芯片版图，需要跑上几天几夜。

但如果有中国那近乎无限的廉价算力和基于gpu加速的ai算法？

也许，真的可以！

“这不违反瓦森纳协定。”

林远的律师高翔适时地补了一句，“我们交换的是数学模型和算法，不是实体设备。

这是科学研究。”

温彼得闭上眼睛，在脑海中飞快地权衡利弊。

拒绝，意味着失去光子芯片的未来，而且中国人可能会自己摸索出这套算法，虽然慢一点，但迟早会做出来。

同意，不仅能获得光子技术的门票，还能通过卖软件服务和老旧的duv设备，在中国市场再赚一笔巨款。

“……成交。”

温彼得睁开眼，做出了决定：“但是，我有两个条件。

第一，这个实验室注册在新加坡，数据不出境。

第二，asml拥有这套系统的海外独家销售权。”

“没问题。”

林远笑了。

他要的本来就不是海外市场，他要的是能不能造出来。

……

协议签署后，代号为女娲的项目在新加坡地下的数据中心秘密启动。

女娲炼石补天，他们要修补的，是光刻技术的物理缺陷。

这不仅仅是写代码，这是在用数学挑战物理学的极限。

汪韬带领的算法团队，和汉斯带领的工业软件团队，在这里进行了为期三个月的地狱式攻关。

最先横亘在他们面前的，是计算量的爆炸。

传统的opc是基于规则的，比如在直角处加个耳朵来修正。

而他们要做的逆向光刻，是将掩膜版设计看作一个反向成像的数学优化问题。

这好比知道了影子的形状，知道了光的传播规律，要反推出挡光板长什么样。

这是一个庞大的非凸优化问题，计算量是传统的百倍。

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