第454章 流片前夜暗箭再临

十二月三十一日，晚上十一点四十七分。

“华夏芯”

一号洁净车间笼罩在一种压抑的兴奋中。

空气里弥漫着硅片清洗剂的微酸气味、光刻胶的刺鼻甜香，还有设备长时间运转后散发出的淡淡机油味。

十六台主要设备指示灯全亮，像一片悬浮在黑暗中的星辰。

温知秋站在中央控制台前，右手食指悬在红色的“流片启动”

按钮上方三厘米处，已经维持这个姿势超过两分钟。

她的眼睛布满血丝，眼袋浮肿，无尘服领口处露出的脖颈皮肤透着不健康的灰白。

这是连续七十二小时只睡了不到五小时的结果。

控制台屏幕上，十二个监控窗口分别显示着刻蚀机腔体温度、光刻机对准精度、离子注入剂量、化学机械抛光压力……所有参数都在绿色安全区内跳动。

“温总？”

旁边的工艺组长李工小声提醒，“温度梯度和气压稳定已经超过十五分钟，符合启动条件。”

温知秋的手指微微颤抖。

不是紧张，是纯粹的生理性颤抖——肌肉在过度疲劳后的自然反应。

她知道，只要按下这个按钮，生产线就会开始首片“凤凰-i”

芯片的全流程制造。

从硅片清洗到光刻、刻蚀、离子注入、金属互联、封装测试，整个流程需要三十八小时。

三十八小时后，她就会知道这三个月来的挣扎、林峰押上的政治资本、国家大基金的五十亿、七〇三所张克艰团队的心血、许薇实验室的全新架构……这一切到底能不能结出一颗果实。

或者，只是一地碎片。

“再等三分钟。”

她的声音沙哑得像砂纸摩擦金属，“让退火炉的温度再均匀一些。

三维堆叠结构对热应力太敏感，温差超过零点五度就可能分层。”

李工看了眼监控数据：“当前腔体最大温差零点三度，已经连续八分钟稳定。”

“我要零点二度。”

温知秋盯着屏幕，“张总工说过，我们这套自主工艺的容错率只有进口工艺的一半。

别人能承受零点五度，我们只能承受零点二度。

所以，等。”

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