第292章 降维打击颠覆物理学界的模型
白板光滑如镜,倒映着会议室里一张张呆滞的脸。
陈正宇手持马克笔,神情专注,仿佛整个世界只剩下他和眼前这块白板。
他的手臂挥动,笔尖在白板上留下流畅而精准的线条。
那不是随意的涂鸦,而是一连串复杂到令人头皮发麻的数学符号和物理模型图。
“你们现有的lpp(激光等离子体)方案,本质上是‘暴力美学’。”
陈正宇的声音不大,却清晰地传入每一个人耳中,他的语速不快,带着一种独特的节奏感,仿佛一位大学教授正在给自己的学生讲课。
“用高功率的二氧化碳激光器,去轰击高速运动的锡滴靶材,强行将锡原子电离成等离子体,再利用等离子体的复合与跃迁,辐射出波长为135纳米的euv光。
这个思路,简单粗暴,但效率极低。”
他一边说,一边在白板的左侧,快速画出了当前主流lpp-euv光源的简化结构图,并在旁边标注了几个关键参数。
“能量转换效率(ce),最高05,这是你们无论如何也无法突破的理论天花板。
为什么?”
他没有等任何人回答,手中的笔在“自吸收效应”
那几个字上,重重地画了一个圈。
“因为你们制造出的等离子体,太‘脏’了。”
“脏?”
一个戴着厚厚眼镜片,看起来四十多岁的技术专家下意识地反问了一句,脸上写满了不解。
在他们这些搞高能物理的人看来,等离子体就是等离子体,哪有什么干净和肮脏的区别?
“没错,就是脏。”
陈正宇转过身,目光扫过那位专家,“你们的激光脉冲能量密度过高,轰击在锡滴上,瞬间产生的等离子体云团,其核心区域的温度和密度的确达到了辐射euv光的条件。
但是,在这个核心区域的外围,包裹着大量未能完全电离的、或者已经开始复合降温的低价锡离子和中性锡原子。”
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