第716章 我管不了他（第5页）

步进导轨的同心度精确到了人类测量设备无法验证的级别。

苏毅扔下管钳。

“接通电源测试。”

张院士被中年专家搀着往前走了两步。

他用颤抖的手从仪器箱里掏出笔记本电脑，接上测试线缆。

光源启动。

极紫外光束射出。

笔记本屏幕上的波长读数定格。

十三点三纳米。

不是十三点五。

比原厂设计波长短了零点二纳米。

出光精度：零点四八纳米。

比苏毅承诺的零点五，还多了零点零二纳米的余量。

张院士盯着屏幕。

那双浑浊的老眼里，有什么东西碎了，又有什么东西在废墟上重新立了起来。

他转过身。

腰弯下去。

不是日常的鞠躬。

是几乎折叠到水平的大礼。

“苏工。”

张院士的嗓音嘶哑到几乎听不清。

“我以华国光刻机总设计师的身份，向你道歉。”

苏毅已经转过身走了。

他蹲在工具箱前，把刚才掐走的那百分之二十高纯硅晶和石榴石颗粒，分别装进两个防静电袋里，塞进冲锋衣内袋。

系统面板弹出。

【修复完成。

目标：第五代EUV极紫外光刻机核心光源模组。

】

【获得维修点：。

】

一百二十万。

入账。

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