第336章 试产成功 来电
转眼便是三月五日,春节假期早已过去,楚千澜上班也已经一个多星期。
就在五天前,65纳米光刻机完成了调试。
早在年前,负责研发存储芯片的赵立伟团队根据之前的研发成果,简化出一款65纳米制程的存储芯片。
这也是为了实验65纳米光刻机调试结果,专门研发的芯片。
不过,因为各种原因,这款芯片的流片直到第三次才成功。
听到这消息,楚千澜也很高兴。
这意味着,65纳米光刻机调试成功。
而接下来,深蓝半导体的设备工程师又忙碌起来,他们开始尝试使用“多重曝光技术”
,生产45纳米制程的存储芯片。
65纳米光刻机生产65纳米芯片,这本就是正常的事情。
而生产出45纳米的芯片,才是楚千澜真正的目标。
三月五日的中午,深蓝半导体的厂区被笼罩在春雨当中,二号车间内却已是一片忙碌景象。
“多重曝光技术”
的试验正在紧锣密鼓地进行中。
工程师们围在65纳米光刻机旁,神情专注而紧张。
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第一道曝光工序完成,准备第二道。
"
设备工程师的声音透过对讲机传来。
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确认对位精度,误差控制在0.02微米以内。
"
张北光的声音沉稳而坚定。
楚千澜站在观察窗前,目光紧紧盯着屏幕上的对位标记。
这是他真正关心的时刻,用65纳米设备挑战45纳米制程。
经过数小时的精细操作,第一片硅晶圆完成所有生产工序。
"
送检测室。
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