第297章 让大漂亮知道什么叫造不如买
原子层光刻,是光刻技术的终极形态。
它可以完全摆脱光学,或电子束的物理限制,在理论上,没有最小制程瓶颈。
而且,其对材料的利用率,接近100。
技术如此先进,研发难度自然也是最大的。
先是原子束的操控问题,不管强度、精度,还是稳定性,当前的技术水平都无法达标。
接着是激光方面,与穹辰计划追求高功率不一样,原子层光刻机的激光技术,更注重稳定性,以及激光与原子相互作用的精确控制。
最后,还有掩膜材料、光刻工艺、原子与表面相互作用的精确控制等方面,都存在技术难关。
就算把这些技术问题,都给解决了,研发和制造难度依然巨大。
因为,原子层光刻需要在高真空等特殊环境下进行,对设备的精度和稳定性要求极高。
设备上的各个部件,如原子源、激光系统、真空系统、原子光学元件等,都需要具备高精度的制造和装配工艺。
因此,江晟对这个项目抱有足够的耐心,并不急于求成。
但作为项目负责人的臧教授,却背负着巨大压力。
当初,原子层光刻机项目,与纳米压印同时立项。
如今,纳米压印光刻机,已经量产两年多,连使用其生产的芯片都卖了快两年。
可原子层光刻机,却始终悄无声息。
直到此时,项目取得重大突破,臧教授才兴冲冲地给江晟打电话报喜:
“这一次,我们取得突破的关键性技术,是对原子束的操控。
基于热蒸发技术和喷射法,我们摸索出了一套,新的原子束产生方法,在束流强度和稳定性上,都有很大提升。
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