第178章 高精度我要低成本我也要

听到江晟问自己想选哪条路线，臧教授有些苦恼：

“既然决定换路线，那作为阿斯麦技术延续的高数值孔径euv，首先排除。

还有x射线光刻，因为掩膜材料容易被损伤，加上高功率、稳定的x射线光源体积太大，大到有足球场大，也可以去掉。

原子层光刻因为技术难度太大，十年都不一定能研发出来，只能暂时搁置。

剩余的两条路线，ebl电子束光刻和nil纳米压印光刻都不错，一时半会我也难以决定。”

“电子束和纳米压印吗？”

江晟想了想，状似很随意地建议道，“那就选纳米压印吧！”

“为什么？”

“我刚才好像听你说，纳米压印设备的成本，只有euv的15甚至110，而且制程步骤简单？”

“是的。”

臧教授点点头，“如果能解决缺陷率和模板寿命问题，这个路线是成本最低的。”

“那不就结了，反正每一条路线，都有难关需要攻克，那我们为什么不选择一条成本最低的？只要将问题解决，那光是成本优势，就能让我们立于不败之地！”

所谓天下武功，唯快不破，在任何行业，低成本优势，都是绝对的大杀器。

东大的商品，之所以能风靡全球，将其他国家的同行打得节节败退，在很大程度上就是靠便宜。

如果真能把光刻机的价格，打到euv的110甚至更低，那芯片代工的价格，是不是也要降？

到时候，所有拿不到莲蓬光刻机的芯片代工厂，都会被能拿到的同行，如中芯国际和莲芯半导体挤兑倒闭。

“可是”

臧教授仍有些犹疑，“论精度，纳米压印是不如电子束的。”

“纳米压印的精度不是可以支持1n吗？”

。”

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